美标:316LVV或者316L2V
日标:SUS316LVV或者SUS316L2V
统称:316L VIM+VAR 或者316L双V 超纯净不锈钢
标准:PXCLGF-032 SEMI-F20-0706E
归类超纯不锈钢
说明316LVIM/VAR是一种通过真空熔炼(VIM)+真空电弧重熔(VAR)工艺生产的不锈钢材料。
这种材料具有高强度、高疲劳强度、出色的微清洁度和优异的结构均匀性,适用于半导体设备,外科植入物和其他需要高清洁度和高光洁度的应用
应用领域:
洁净室配件、超高压压力传感器、半导体腔体、零部件、医疗产业、LCD-TFT产业,高纯度和超高纯度化学(气体或液体)分配系统,高纯度和超高纯度半导体制造应用
316L VV化学元素成分含量(%)
成分 | C | Si | Mn | P | S | Ni | Cr | Mo | Cu | Nb | Al | Ti |
最小值 | - | - | - | - | - | 14.5 | 16.5 | 2.2 | - | - | - | - |
最大值 | 0.01 | 0.50
| 0.50 | 0.03 | 0.03 | 15.0 | 17.0 | 2.5 | 0.25 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
Se最大 | 0.01
| Ca最大 | 0.01 | O最大 | PPM20 | H最大 | PPM0.5 | N最大
| PPM40 |
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316LVIM/VAR的具体特性包括:
高强度和高疲劳强度:适合用于需要承受高应力或频繁使用的部件。
出色的微清洁度:适用于对清洁度要求极高的应用,如外科植入物。
优异的结构均匀性:确保材料的稳定性和可靠性。
高表面光洁度:适用于需要高精度加工的部件。
无磁性:适用于特定环境下的应用。